1100℃ 1500℃ 高溫真空探針臺(tái)溫度穩(wěn)定±1℃
樣品臺(tái)26x26mm 同時(shí)可用于光學(xué)測試電學(xué)測試
光學(xué)反射透窗距樣品間距9mm
可擴(kuò)展透視窗透孔2mm
電學(xué)測試4探針 外接3同軸bnc
腔體不銹鋼材質(zhì) 180x90x37mm上下面水冷
該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)＜5Pa分子泵可達(dá)＜-3Pa。真空信號(hào)連接處使用真空電極信號(hào)接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測的器件方在加熱臺(tái)面，探針頂尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測試儀器來測試電學(xué)信號(hào)。
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