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1、首先是外觀檢查；靠視覺可以發現下列異常現象：伺服電機外部緊固件是否有松動，零部件是否有毀壞，設備表面是否有油污、腐蝕現象；伺服電機的各接觸點和連接處是否有變色、燒痕和煙跡等現象。發生這些現象原因是由于伺服電機局部過熱、導體接觸不良或繞組燒毀等；伺服電機儀表指示是否正常及電壓表無指示或不正常，則表明電源電壓不平衡和導體接觸不良等問題。而電流表指示過大，則表明伺服電機過載、軸承故障、繞組匝間短路等；

2、采用聽診棒靠聽覺可以聽到電動機的各種雜音；其中包括伺服電機電磁噪聲、通風噪聲、機械摩擦聲、軸承雜音等，從而可判斷出伺服電機的故障原因。引起噪聲大的原因在機械方面有：軸承故障、機械不平衡、緊固螺釘松動、聯軸器連接不符要求、定轉子鐵心相擦等，這些簡單的雜音問題便可以通過聽診棒準確辨認。

3、靠觸覺用手摸機殼表面可以發現電動機的溫度過高和震動現象，*伺服電機造成震動的原因是：機械負載不平衡、各緊固部件有松動現象、電動機基礎強度不夠、聯軸器連接不當、氣隙不均或混入雜物、電壓不平衡、單相運轉、繞組故障、軸承故障等，這些問題便可以通過觸覺來感受到。