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1.1概述

水蒸氣蒸發(fā)混合器是一種可以產(chǎn)生含水蒸汽混合氣體的裝置。它可以產(chǎn)生水蒸氣與另外一路氣體以任意比例混合的氣體，且該氣體的流量和溫度皆可連續(xù)調(diào)節(jié)。適用于CEM3002、CEM3020和CEM3080等型號。

1.2 工作原理

1.2.1主機(jī)部分主機(jī)由1路氣體流量計量模塊、1路水蒸氣計量蒸發(fā)模塊、1個氣體預(yù)熱混合器和系統(tǒng)控制平臺組成。水通過計量泵精確計量流量后進(jìn)入蒸發(fā)器，并且得到蒸發(fā)。另外1路載氣經(jīng)過質(zhì)量流量計計量流量后，與水蒸氣在預(yù)熱混合器中進(jìn)行充分混合后輸出。通過調(diào)節(jié)載氣的流量和水泵的流量，可以調(diào)節(jié)混合氣體中水的含量以及氣體總流量。通過預(yù)熱混合器可以調(diào)節(jié)控制混合器輸出的問題。

1.2.2定制附件：主機(jī)與應(yīng)用設(shè)備伴熱連接當(dāng)主機(jī)與應(yīng)用設(shè)備距離較遠(yuǎn)時，可以定制一套伴熱連接管路。它包含3個溫控：1個電伴熱管線溫控以及2個管接頭伴熱溫控。伴熱管線是一體成型的，而管接頭伴熱采用方便拆卸的加熱帶。

1.3 參數(shù)指標(biāo)

1.4 包裝清單

1.5 設(shè)備接口

前方視圖

背面視圖

2.安裝與操作2.1 清點(diǎn)部件

請根據(jù)訂單清點(diǎn)，主要包括主機(jī)、電源線（CEM3020/CEM3002）等

2.2安裝電源

CEM3002/CEM3020電源線為16A的插頭，準(zhǔn)備一個與現(xiàn)場220V電源聯(lián)通的插座，將插頭插入插座內(nèi)。CEM3080電源線為6mm2的三芯線纜（5.5kW），請在現(xiàn)場電工的幫助下進(jìn)行電源連接。

2.3 安裝水源

CEM3080：水桶是放置在主機(jī)外面的，將主機(jī)上的進(jìn)水管投入水桶中即可。CEM3020：打開主機(jī)正面下部的門，可以將一個20L的水桶置于主機(jī)下部，將進(jìn)水管投入水桶中即可。CEM3002: 打開主機(jī)正面下部的門，可以將一個≤20L的水桶或者試劑瓶置于主機(jī)下部，將進(jìn)水管投入水桶/瓶中即可。

2.4 安裝氣源

將外部氣源管插接到進(jìn)氣口的快插接頭中即可。

2.5 安裝主機(jī)與應(yīng)用設(shè)備之間的伴熱管

需要預(yù)約工程師現(xiàn)場確定伴熱管布置，測量所需長度后定制伴熱管，再到現(xiàn)場安裝。

注意1.水源要采用去離子水2. 不可用力拉扯進(jìn)水管！3.管接頭伴熱測溫的熱電偶連接線需布置妥當(dāng)，放置使用中不小心扯松，導(dǎo)致測溫不正常燒壞伴熱帶

2.6 快速操作

2.6.1 打開設(shè)備電源（1）在前面板上打開主控開關(guān)（2）按下系統(tǒng)開關(guān)按鈕，啟動觸摸屏主頁面

2.6.2 預(yù)熱設(shè)備（1）啟動蒸發(fā)器：在主頁面上點(diǎn)擊蒸發(fā)器“設(shè)置"按鈕，進(jìn)入蒸發(fā)器設(shè)置頁面；將SV設(shè)置為所需溫度。SV的溫度越高蒸發(fā)器的蒸發(fā)能力越強(qiáng)。對于CEM3020和CEM3080，SV設(shè)置為220℃和180℃可以達(dá)到設(shè)計的蒸發(fā)能力。

（2）啟動伴熱器：在主頁面上點(diǎn)擊伴熱器的“設(shè)置"按鈕，進(jìn)入伴熱設(shè)置頁面。通常伴熱的溫度設(shè)置為120℃即可。如果主機(jī)和應(yīng)用設(shè)備之間沒有接附件，則可以不設(shè)置下面的三個伴熱。

（3）啟動預(yù)熱混合器：在主頁面上點(diǎn)擊預(yù)熱混合器的“設(shè)置"按鈕，進(jìn)入預(yù)熱混合器的設(shè)置界面。把出口氣體溫度控制部分的SV設(shè)置為所需的目標(biāo)溫度。超溫保護(hù)設(shè)置，通常出廠已經(jīng)設(shè)置好。

（4）在主機(jī)前面板上，打開加熱開關(guān)。

2.6.3 發(fā)生混合氣體

待上述3個部件都達(dá)到預(yù)熱溫度后：（1）在主頁面上點(diǎn)擊質(zhì)量流量計的“設(shè)置"按鈕，進(jìn)入質(zhì)量流量計設(shè)置頁面，可以調(diào)節(jié)載氣流量。

（2）在主頁面上點(diǎn)擊進(jìn)液泵的“設(shè)置"按鈕，進(jìn)入進(jìn)液泵設(shè)置界面，調(diào)節(jié)進(jìn)液泵流量。進(jìn)液流量設(shè)好后，返回到主頁面，點(diǎn)擊進(jìn)液泵的啟動/停止按鈕，即可發(fā)生蒸汽。

注意請勿隨意更改PLC或控制儀表的設(shè)定參數(shù)！如需修改，請聯(lián)系廠家或查閱PLC或控制儀表使用說明書。

3.設(shè)備維護(hù)與故障排除3.1更換設(shè)備附屬配件

（1）斷開電源連接線。（2）等待設(shè)備冷卻半個小時（3）根據(jù)安裝步驟更換附屬配件

3.2檢查系統(tǒng)氣密性

設(shè)備在出廠前已經(jīng)進(jìn)行過氣密性檢查。后續(xù)若出現(xiàn)氣密性風(fēng)險，按一下步驟進(jìn)行檢查：（1）將設(shè)備除進(jìn)氣口以外所有可能存在氣體泄漏的進(jìn)液口及出氣口用橡皮墊封堵（2）接通外部氣源，并將氣壓調(diào)節(jié)到1 bar（3）用肥皂水噴灑在每一個系統(tǒng)管路的結(jié)構(gòu)部位，查看是否存在肥皂水被吹出泡泡的現(xiàn)象。如有：則表示設(shè)備存在泄漏，需進(jìn)行卡套鎖緊或更換卡套處理，如沒有：則表示設(shè)備氣密性完好

注意使用高壓氣瓶時務(wù)必注意用氣安全使用肥皂水噴灑時，務(wù)必在檢漏部位底部做好吸水干燥措施。

3.3設(shè)備長期不使用處置

（1）將設(shè)備處于預(yù)熱狀態(tài)，水泵空泵運(yùn)行排除殘水，載氣吹掃30min，防止內(nèi)部管路積水（2）將進(jìn)水管從水源斷開，并防止灰塵/霉菌進(jìn)入進(jìn)水管，堵塞計量泵（3）切斷電源和氣源

3.4 設(shè)備無法產(chǎn)生蒸汽

（1）可能原因：未打開加熱開關(guān)解決方法：立即停止水泵,檢查加熱開關(guān)是否打開（2）可能原因：設(shè)備配備的是雙柱塞泵且是開始使用時，水泵空轉(zhuǎn)解決方法：需要用注射器在泵的出水口抽吸，直到出口出水；其它類型的泵無此問題（3）可能原因：蒸發(fā)器損壞解決方法：檢查蒸發(fā)器溫度是否可以達(dá)到150℃，不可以則報修

3.5 設(shè)備出口有液滴（汽化不全）

（1）可能原因：蒸發(fā)器損壞或者尚未預(yù)熱好解決方法：立即停止水泵，檢查蒸發(fā)器溫度是否正常，或者等待或者報修（2）可能原因：超過了蒸發(fā)器額定蒸發(fā)量解決方法：調(diào)節(jié)水泵流量到裝置額定流量范圍內(nèi)（3）可能原因：預(yù)熱混合器/伴熱損壞或尚未預(yù)熱好解決方法：檢查該部件溫度是否正常，或者等待或者報修

3.6 氣體流量不足

（1）可能原因：設(shè)備開關(guān)、模塊開關(guān)未開啟。解決方法：開啟所有開關(guān)。（2）可能原因：進(jìn)液泵沒有啟動解決方法：開啟電源運(yùn)行進(jìn)液泵（3）可能原因：設(shè)備汽化模塊故障解決方法：檢查更換汽化模塊（4）可能原因：氣路堵塞解決方法：檢查堵塞氣路并更換（5）可能原因：氣源不足解決方法：檢查氣源