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蘇州阿洛斯環(huán)境發(fā)生器有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第1年

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摻氟錫氧化物CVD用發(fā)生器
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更新時(shí)間:2025-03-28 09:23:37

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設(shè)備配備預(yù)壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設(shè)計(jì)的嵌入式預(yù)熱器

    設(shè)備配備預(yù)壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設(shè)計(jì)的嵌入式預(yù)熱器。液態(tài)前驅(qū)體經(jīng)過蒸發(fā)段氣化,隨后調(diào)溫輸出。輸出組分進(jìn)一步分布或混合,為CVD工藝提供氣態(tài)原料。前驅(qū)體接觸的材質(zhì)均采用耐腐蝕材料。

     PLC控制系統(tǒng),Ethernet通訊,與CVD生產(chǎn)線主控系統(tǒng)通訊。



含錫前驅(qū)體

60

sccm

含氟前驅(qū)體

≤20

sccm

H2O

60

sccm

功率

7.5

kW



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