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行業產品
15895470335
當前位置：> 供求商機> 摻氟錫氧化物CVD用發生器
貨物所在地：江蘇蘇州市
更新時間：2025-03-28 09:23:37
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產品簡介詳細介紹
設備配備預壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩定/耐腐蝕蒸發器以及一體化設計的嵌入式預熱器。液態前驅體經過蒸發段氣化，隨后調溫輸出。輸出組分進一步分布或混合，為CVD工藝提供氣態原料。前驅體接觸的材質均采用耐腐蝕材料。
PLC控制系統，Ethernet通訊，與CVD生產線主控系統通訊。
含錫前驅體
≤60
sccm
含氟前驅體
≤20
H2O
功率
7.5
kW
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聯系人：柯銳 （銷售經理）
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個 性 化： www.arosyq.com
商鋪網址： http://www.grannyfreesex.com/st431899/
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