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摻氟錫氧化物CVD用發生器
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貨物所在地:江蘇蘇州市

更新時間:2025-03-28 09:23:37

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設備配備預壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩定/耐腐蝕蒸發器以及一體化設計的嵌入式預熱器

    設備配備預壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩定/耐腐蝕蒸發器以及一體化設計的嵌入式預熱器。液態前驅體經過蒸發段氣化,隨后調溫輸出。輸出組分進一步分布或混合,為CVD工藝提供氣態原料。前驅體接觸的材質均采用耐腐蝕材料。

     PLC控制系統,Ethernet通訊,與CVD生產線主控系統通訊。



含錫前驅體

60

sccm

含氟前驅體

≤20

sccm

H2O

60

sccm

功率

7.5

kW



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