您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
15895470335
當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> 摻氟錫氧化物CVD用發(fā)生器
設(shè)備配備預(yù)壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設(shè)計(jì)的嵌入式預(yù)熱器。液態(tài)前驅(qū)體經(jīng)過蒸發(fā)段氣化，隨后調(diào)溫輸出。輸出組分進(jìn)一步分布或混合，為CVD工藝提供氣態(tài)原料。前驅(qū)體接觸的材質(zhì)均采用耐腐蝕材料。
PLC控制系統(tǒng)，Ethernet通訊，與CVD生產(chǎn)線主控系統(tǒng)通訊。
| 含錫前驅(qū)體 | ≤60 | sccm |
| 含氟前驅(qū)體 | ≤20 | sccm |
| H2O | ≤60 | sccm |
| 功率 | 7.5 | kW |
|
|
|
|
請輸入賬號(hào)
請輸入密碼
請輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
