SEM4000X是一款穩定通用,靈活高效的場發射掃描電鏡。分辨率可達1.9nm @1.0kV,輕松應對各種類型樣品的高分辨拍樣挑戰,可升級超級減速模式,進一步提升低壓分辨率。同時采用了多探測器技術,鏡筒內電子探測器(UD)可探測SE和BSE信號,同時具有高分辨率性能。倉內電子探測器(LD)采用了晶體閃爍體和光電倍增管,具備更高的靈敏度和高效性,圖像具有很好的立體感。中文操作軟件,簡單易用,豐富的自動化功能,如自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散、自動對中等等,可快速獲取高分辨圖像。



產品參數
關鍵參數 | 分辨率 | 0.9 nm@30 kV, SE |
1.2 nm@15 kV, SE |
1.9 nm@1 kV, SE |
1.5 nm@1 kV(超級減速) |
1.0 nm@15 kV(超級減速) |
加速電壓 | 200 V~30 kV |
放大倍率 | 1~1,000,000× |
電子槍類型 | 肖特基場發射電子槍 |
樣品室 | 低真空模式 | / |
攝像頭 | 雙攝像頭(光學導航+樣品倉內監控) |
XY行程 | 110 mm |
Z行程 | 50 mm |
T行程 | -10°~+70° |
R行程 | 360° |
探測器 | 鏡筒內電子探測器 | UD-BSE/UD-SE |
倉室內電子探測器 | LD |
插入式背散射電子探測器(BSED) | ○ |
插入式掃描透射電子探測器(STEM) | ○ |
低真空二次電子探測器(LVD) | ○ |
能譜儀(EDS) | ○ |
背散射衍射(EBSD) | ○ |
擴展 | 樣品交換倉(4寸/8寸) | ○ |
旋鈕板&軌跡球 | ○ |
雙減速技術(Duo-Dec) | / |
超級減速技術 | ○ |
軟件 | 操作軟件 | Windows操作系統,中文SEM軟件 |
導航 | 光學導航、手勢快捷導航、軌跡球(選配) |
自動功能 | 自動亮度對比度、自動 |
●標配 ○選配 /無
