在線露點分析儀的測量精度會受儀器自身、測量環境、操作等多方面因素的影響，具體如下：
傳感器性能：傳感器的靈敏度、穩定性和準確性直接決定測量精度。如電容式傳感器的電容材料特性、冷凝式傳感器的制冷與控溫精度等，若傳感器老化、受損或質量不佳，會導致測量偏差。
電路系統：儀器的電路系統負責信號的轉換、放大和處理，電路元件的質量、穩定性以及抗干擾能力等會影響測量結果。如電路中的噪聲、漂移等問題，可能使測量信號失真，降低測量精度。
光學系統（光學法分析儀）：對于基于光學原理的露點分析儀，光源的強度穩定性、波長準確性，以及光路的清潔度、光探測器的靈敏度等光學系統因素至關重要。例如光源老化導致光強減弱、光路被污染使光散射或吸收異常，都會影響測量精度。
儀器校準：校準是確保儀器測量準確的關鍵環節。若校準過程不規范、校準標準物質不準確或校準周期過長，儀器可能會出現較大的測量偏差。
溫度：環境溫度的變化會影響傳感器的性能和樣氣的物理性質。例如，溫度過低可能使樣氣中的水汽過早凝結，溫度過高則可能影響傳感器的電子元件性能，導致測量誤差。
濕度：環境濕度本身就是影響測量的重要因素，高濕度環境可能導致儀器外部結露，影響光學系統或傳感器的正常工作；低濕度環境則可能使樣氣中的水汽損失，造成測量值偏低。
壓力：樣氣壓力的波動會改變氣體的狀態和水汽的分壓，進而影響露點溫度的測量。壓力變化可能導致氣體膨脹或壓縮，使水汽的含量相對變化，造成測量誤差。
氣體流速：樣氣流速不穩定或過快、過慢都會對測量產生影響。流速過快可能使樣氣與傳感器接觸時間過短，無法達到平衡狀態，導致測量值不準確；流速過慢則可能使樣氣在管路中滯留，水汽發生吸附或解吸等現象，影響測量結果。
雜質與污染：樣氣中的雜質，如灰塵、油污、化學物質等，可能會吸附在傳感器表面或堵塞管路，影響傳感器對水汽的感知，導致測量偏差。同時，環境中的污染物也可能進入儀器內部，干擾測量過程。
