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什么是利用MEMS壓力傳感器的氣密性檢測裝置？
閱讀：940 發布時間：2022-11-28什么是利用MEMS壓力傳感器的氣密性檢測裝置？
它是一種使用高性能和極小的 MEMS（微機電系統）壓力傳感器來確定壓力變化（壓差）是否存在泄漏的裝置。
（MEMS：將機械元件、傳感器、電子電路等集成在單一基板上的裝置，利用MEMS壓力傳感器的特性來測量壓力變化。）
CW設備概覽
CW的特點是通過測量被檢產品外部密封空間（測量空間）的壓力變化來判斷產品有無泄漏，如下圖所示。
待測的測量空間體積應盡可能小，以增加對壓力變化的敏感度。
為了靈活處理不同形狀的產品，測量空間采用硅橡膠并覆蓋。
設備主要部件
*產品被硅橡膠覆蓋和密封的測量部分
*真空泵
*真空罐（穩壓罐）
*壓力調節閥等
*MEMS壓力傳感器和測量CPU
*電腦及應用軟件
MEMS壓力傳感器板
設備特點
?通過使用硅橡膠，可以靈活適應被檢產品的形狀。
將難以檢驗的產品檢驗準確率提高*。
（小型對象產品、化學容器、食品包裝等）
?適用于含有液體的檢查對象產品。您可以更改產品的方向。
?壓力傳感器非常小（2mmx2mm）。設備設計自由度高。
?分辨率：0.025Pa 絕對精度：±0.5hPa，相對精度±0.025hPa