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準分子 UV 172nm固化技術介紹

“準分子"，這個詞對于很多人來說可能會比較陌生。但實際上，準分子光源技術已存在多年，并已成功應用于一些工業領域，例如表面處理、消毒、工業加工、照明等。但在光固化應用中，準分子光源顯示出的特殊效果卻使其在近年來獲得了越來越多的關注。

“準分子紫外光固化技術"，作為光固化技術的一種，近年來已成為了光固化應用領域的技術熱點之一。以準分子板材為例，其消光和膚感效果，正是通過運用準分子紫外光固化技術來實現的。

在準分子板材的固化過程中，采用了準分子紫外光固化與中壓紫外線汞燈固化兩種技術相結合的方式。其中，172nm的準分子紫外線固化技術，作為其關鍵技術之一，正是實現準分子板材消光和膚感效果的主要技術。其原理在于172nm準分子光屬于短波紫外線，穿透能力較為有限（100-500nm），僅能對涂層表面進行固化。通過這兩種固化方式的結合使得涂層表面產生微觀意義上的褶皺，形成了光的漫反射，從而達到消光和膚感的效果。

適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準分子 VUV 172nm 光源

風冷緊湊型準分子燈單元，燈長160mm，該單元專為VUV 172波長的照射而設計，系統結構簡單，具有低成本、高性能的特點，準分子UV燈可實現低溫精密處理。

緊湊型準分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圓和掩模基板的燈。其特點是簡單緊湊、高可靠性風冷型、無需更換燈管的長壽命準分子燈。*1電源為AC100V。

特點 

長壽命風冷準分子燈。無需更換燈管

　　　　本來，準分子紫外線燈的結構是燈泡內部沒有電極，因此理論上它們被認為是長壽命燈，在國外有時被稱為準分子燈。然而，如今追求高照度的準分子燈由于燈管材料更輕、更薄、燈管溫度更高以及紫外線能量導致的玻璃變形，往往導致燈管壽命較短，從而導致成本較高。

根據多年的現場經驗，Excimer Co., Ltd.的風冷緊湊型準分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件，但不需要更換內部電極。燈管本身，實現低成本和高可靠性。*1

特征

• 風冷方式，安裝方便。

• 燈管燈長160mm

• 電源 AC100V 50/60Hz

• 瞬時開/關燈功能。

• 適合研究和開發。

應用領域

• 表面潤濕性和改性

• 光化學

• 反應性OH自由基過程

• 抗蝕劑去除

• UV O3工藝