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技術文章

閱讀：689 發(fā)布時間：2024-3-29

半導體特殊材料氣體、高純/超高純載氣壓力調(diào)節(jié)器介紹

Excellent Mega系列EX-M-20、EX-M-100（電解拋光品）

一次壓力：20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?、150?/min?空氣）

He泄漏值：5X10 -11 Pa·m3/秒以下

?EX-M-20

?EX-M-100

Mark II系列 EX-20mkⅡ-G1、G2/EX-100mkⅡ-G1、G2

一次壓力：20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?、150?/min?空氣）

He泄漏值：1X10 -9/-8 Pa·m3/秒以下

?EX-20mkⅡ

?EX-100mkⅡ

TD系列EX-20-TD、EX-100-TD（適用于腐蝕性氣體，特殊內(nèi)涂層）

一次壓力：20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?、150?/min?空氣）

He泄漏值：1X10 -9 Pa·m3/秒以下

?EX-20-TD

?EX-100-TD

優(yōu)秀 PM 系列 EX-20-PM、EX-100-PM（僅限面板安裝型號）

一次壓力：20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?、150?/min?空氣）

He泄漏值：1X10 -9 Pa·m3/秒以下

?EX-20-PM

?EX-100-PM

Excellent Mega VC系列EX-M-20-VC（電解拋光品/主體連接部分VCR1/4加工）

一次壓力：20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?/min?空氣）

He泄漏值：5X10 -11 Pa·m3/秒以下

?EX-M-20-VC

Excellent Mark II/VC系列EX-20-VC（主體連接部分VCR1/4加工）

一次壓力：20.0MPa以下/調(diào)整壓力0.1～1.0MPa、最大流量：50?/min?空氣）

He泄漏值：1X10 -9 Pa·m3/秒以下

?EX-20-VC