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詳細介紹
日本昭和ssvi超薄型主動隔振裝置VAAV-H
配備了專門用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準確掌握微小的振動。
原始的主動振動隔離算法可高速計算，高精度高輸出執行器可立即消除振動。
超靈敏的加速度傳感器慷慨地安裝在地板一側，前饋控制實現了世界上gao水平的隔振性能。
在保持高性能和高精度隔振性能而沒有共振現象的同時，安裝臺的激振力所產生的振動也會同時衰減。
它具有與VAAV-A系列相同的性能，但可以使設備的整體高度較低。
氣動控制可實現全fang位高精度的位移和位置控制。
可以選擇能夠應對較大移動負載的高速響應大流量閥。
安全可靠的設計與CE標記兼容。（控制器SAC-07）
標配臺前饋功能和振動波形顯示分析軟件。
在半導體制造和檢查設備中，它被用作需要精細處理的晶片的振動對策以及用于移動晶片的臺架的振動對策。
在液晶制造和檢查設備中，其目的是在機架和工作臺明顯移動時快速衰減振動，并用于立即檢查和校正，這有助于縮短節拍時間。
在超精密機床中，它用于消除工作臺上的振動，該工作臺用于精密加工，同時支持大載荷的運動。
日本昭和ssvi超薄型主動隔振裝置VAAV-H
| 模型 | 可安裝質量（1個單位） | 尺寸（1個單位） |
|---|---|---|
| VAAV-1000-110H | 500-1700公斤 | 240（寬）x 240（深）x 110（高）毫米 |
| VAAV-2200-110H | 1100-3700公斤 | 350（W）x 350（D）x 110（H）毫米 |
| VAAV-4000-110H | 2100-7000公斤 | 420（寬）x 420（深）x 110（高）mm |
| VAAV-7000-120H | 3600?12000公斤 | 450（W）x 450（D）x 120（H）毫米 |
*防震臺的標準配置為4個/單位。
*表中的大值可以在沒有均勻負載和沒有動態負載的情況下應用。
| 控制器 SAC-07 |  300（W）x 300（D）x 118（H）毫米 |
|---|---|
| 電源供應 | AC100V-240V 100VA（單相） |
| 電源線 | 3m |
| 調節器 RGU-07 | 250（W）x 100（D）x 200（H）毫米 |
| 單元連接電纜 | 5m |
| 自由度 | 3軸6自由度 |
|---|---|
| 振動傳遞函數 | |
| 定位精度 | ±10微米 |
| 主供氣壓力 | 0.6MPa以上（清潔空氣） |
| 耗氣量 | 標準閥60 L / min 高速響應閥250 L / min |
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