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德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XCD
應用領域：
掃描顯微鏡
超分辨率顯微鏡
生物技術
掩模/晶圓定位
樣本定位
干涉測量
計量
產品參數：
型號：P-541.ZCD
主動軸：Z
集成傳感器：電容式
-20至120 伏時Z向上的開環行程：150微米
θX、θY向上-20至120 伏時的開環偏擺角：–毫弧度
Z向上的閉環行程：100微米
θX、θY向上的閉環偏擺角：–毫弧度
Z向上的分辨率，開環：0.2納米
θX、θY向上的開環分辨率：–微弧度
Z向上的閉環分辨率：0.5納米
θX、θY向上的閉環分辨率：–微弧度
Z、θX、θY向上的線性誤差：0.03%
Z向上的重復精度：<2納米
θX、θY向上的重復精度：–微弧度
θX、θY向上的串擾（Z向運動）：±15微弧度
產品參數：
型號：P-541.TCD
主動軸：Z,θX,θY
集成傳感器：電容式
-20至120 伏時Z向上的開環行程：150微米
θX、θY向上-20至120 伏時的開環偏擺角：±0.6毫弧度
Z向上的閉環行程：100微米
θX、θY向上的閉環偏擺角：±0.4毫弧度
Z向上的分辨率，開環：0.2納米
θX、θY向上的開環分辨率：0.02微弧度
Z向上的閉環分辨率：0.5納米
θX、θY向上的閉環分辨率：0.08微弧度
Z、θX、θY向上的線性誤差：0.03%
Z向上的重復精度：<2納米
θX、θY向上的重復精度：0.01微弧度
θX、θY向上的串擾（Z向運動）：±15微弧度
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XCD
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