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P-733.3CDP-德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
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貨物所在地:天津天津市

更新時間:2025-03-25 15:51:39

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德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CDP


德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CDP


應用領域:

掃描顯微鏡

共聚焦顯微鏡

掩模/晶圓定位

表面測量技術

納米壓印

顯微操縱

圖像處理/穩定

產品參數:

型號:P-733.3CDP

主動軸:XYZ

集成傳感器:電容式

-20120 伏時的開環行程:115 微米×115 微米×12 微米

行程,閉環:100 微米×100 微米×10 微米

分辨率,開環:0.2Z向上為0.1)納米

分辨率,閉環:0.3Z向上為0.2)納米

線性誤差(XY):0.03%

線性誤差(Z):0.03%

重復精度(XY):<2納米

重復精度(Z):<1納米

螺距(XY):<±3微弧度

偏轉角(XY):<±10微弧度

Z向運動時的傾斜:<±5微弧度

剛度:1.4Z向上為9)牛/微米

諧振頻率,空載:460Z向上為1400)赫茲

120 克負載時的諧振頻率:340Z向上為1060)赫茲

200 克負載時的諧振頻率:295Z向上為650)赫茲

運動方向上的推/拉力:50/20


德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CDP


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