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P-363.3CD-德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
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貨物所在地:天津天津市

更新時間:2025-03-25 15:51:28

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德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺,應用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡,掃描和篩選

德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電掃描儀 納米壓電掃描儀 P-363.3CD


德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 壓電掃描儀 納米壓電掃描儀 P-363.3CD


X、Y向上的螺距/偏轉角:0.5微弧度

Z向運動時的傾斜:0.2微弧度


應用領域:

掃描探針顯微鏡

原子力顯微鏡

掃描和篩選


產品參數:

型號:P-363.3CD

主動軸:X、Y、Z

集成傳感器:電容式

-250+250伏時X、Y向上的開環行程:±3微米

-250+250伏時Z向上的開環行程:±2.7微米

XY向上的閉環行程:±2.5微米

Z向上的閉環行程:±2.5微米

分辨率,開環:0.03納米

分辨率,閉環:0.1納米

線性誤差:0.05%

重復精度:1納米

X、Y向上的螺距/偏轉角:0.5微弧度

Z向運動時的傾斜:0.2微弧度

X、Y向上的直線度:3納米

XY向上的平面度:<10納米

X、Y向上的串擾(Z向運動):5納米

X、Y向上的空載諧振頻率:3.1千赫茲

Z向上的空載諧振頻率:9.8千赫茲

帶負載時XY向上的諧振頻率:1.5(20)千赫茲

負載容量:10


德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電掃描儀 納米壓電掃描儀 P-363.3CD


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