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表面潔凈度測試的儀器現在而言通常有兩種方式：

其一為稱重法表面清潔度分析儀。這種方法較多的應用于汽車零部件高精度潔凈度分析與測試。

其二為表面自由能分析法表面潔凈度測試儀，這種儀器通常借助于接觸角的測值并進行對比，符合要求的值視為清潔。具體儀器建議選購SL200B系列表面潔凈度分析，或SL1000型全自動分析功能的儀器。我們更提供ＬＣＤ　LED PCB板 芯片 晶圓 等的等離子清洗后plasma后的潔凈度分析三維圖軟件CAST5.0。

如果您對表面潔凈度分析有任何疑問，煩請的工程師。