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微電子設備磨擦力的新處理方法(圖)

閱讀:1504      發布時間:2010-04-22
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微型電子設備中的微電子機械系統,即MEMS經常由于磨擦吸附力(在物體表面相互磨擦產生的吸引力)而失效。美國阿肯色大學的科學家研究出一種“表面-外形”技術手段來降低這種力從而使微型部件間的相互影響減弱,使其能正常工作。 

機械工程系助理教授鄒敏(音譯)說:“在MEMS設備中解決磨擦吸附力有兩種途徑,一種是化學方法——即在表面使用化學藥劑來減弱磨擦力;另一種就是外形技術,這種方法很簡單,我們設計的納米凸起可以降低物體表面的接觸面積。”

這一項目的目標是制造一個疏水表面,用通用工程基準來說的話就是“水接觸角”,疏水性指的是水形成水珠或者水球的過程,就如同雨落在汽車擋風玻璃上的樣子(這是用化學手段實現的)。水接觸角是一種用來衡量水珠大小的標準,水接觸角大于90度的話就可以被認作是疏水的,如大于150度的話則可稱作“超疏水”。當水接觸角近似180度時,水珠會形成一個近似的球面,接觸面積是小的。
只用外形技術手段,鄒的研究小組成功的制造了水接觸角高達137度的硅表面,還從未有其他科學家在不使用化學藥劑的前提下實現過更高的水接觸角。鄒的研究小組還將表面外形技術和化學手段結合起來進行研究,在這項研究中他們實現了大于150度的水接觸角,從而制造出超疏水表面。 

鄒的研究小組是從無定形硅(沒有固定結晶形態和形狀的硅)的研究開始的。研究者用鋁誘導結晶,使之成為納米晶粒或微晶粒,形成“粗糙”表面。用常規爐采用退火手段(加熱和冷卻)誘導無定形硅結晶化。 

鄒說:“我們證實了通過控制退火的溫度和時間,能夠控制納米顆粒覆蓋的表面面積” 

除了電子設備,研究還可應用于生物醫學設備。不僅如此,它還進一步深化了對磨擦學的理解,這項對磨擦的研究,包括接觸面相對運動產生的磨損和潤滑,可應用于齒輪、軸承以及電腦硬件中的磁頭表面。 

鄒的這項研究1月發表于美國機械工程學會召開的微型和納米系統集成與工業化大會上,并獲得了大會的*論文獎。

提供商

美國科諾工業有限公司 (戰略合作伙伴:上海梭倫信息科技有限公司)

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