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| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,化工,生物產業,能源,電子/電池 |
產品簡介
詳細介紹
詳細說明：
桌面型原子層沉積系統由哈佛大學納米科學中心薄膜沉積工藝研究科學家Dr. Philippe de Rouffignac設計，基于多年納米薄膜制備的經驗以及對科研工作者切實研究需要的了解，推出了此桌面型原子層沉積系統。
主要特點：
1.腔室專為R&D設計和優化，樣品尺寸達直徑4’’,可升級至6''；
2.反應腔溫度可控范圍：RT-350℃；
3.前驅體源溫度可控范圍：RT-150℃；
4.腔室處理壓力可控范圍：0.1-1.5 torr；
5.源擴展多達5個；
6.快速循環處理功能；
7.氣路優化設計、腔體小型化設計；
8.一分鐘多達6-10；
9.成熟的薄膜Recipes內置程序；
10.觸屏PLC控制；
11.可配套手套箱使用；
12.可配備臭氧發生器；
13.可定制樣品夾具；
14.相比于市場上同類產品體積相對偏小，可以放置在凈化間；
15.可實現前驅體劑量的控制。
可處理材料：
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