顯微熒光光譜儀分析對象主要有各種磁性材料(NdFeB、SmCo合金、FeTbDy)、鈦鎳記憶合金、混合稀土分量、貴金屬飾品和合金等，以及各種形態(tài)樣品的無標半定量分析，對于均勻的顆粒度較小的粉末或合金，結(jié)果接近于定量分析的準確度。可用于一般樣品(液體、固體)中的穩(wěn)態(tài)熒光測量和瞬態(tài)熒光測量，如高分子和天然分子自然熒光的研究，液體中大分子分子運動的研究，固體高分子取向的研究，高聚物光降解和光穩(wěn)定性的研究，光敏化過程的研究。
顯微熒光光譜儀(XRF)由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線(一次X射線)，激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
顯微熒光光譜儀一般由光源、單色器、樣品池、檢測系統(tǒng)、讀數(shù)裝置等部件組成。光源激發(fā)被測物，單色器分離出所需要的單色光，檢測系統(tǒng)把熒光信號轉(zhuǎn)換為電信號。從光源發(fā)出的光照射到盛有熒光物質(zhì)的樣品池上，產(chǎn)生熒光。熒光向四面八方發(fā)射，為了消除透射光的干擾，通常在與激發(fā)光傳播方向成90°的方向上測量熒光。樣品池常為矩形，在矩形池中以90°的位置進行測量可使入射光及被測熒光物質(zhì)垂直通過樣品池壁，從而減少池壁列熒光的反射。
顯微熒光光譜儀根據(jù)各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息。近年來，熒光光譜分析在各行業(yè)應用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個領(lǐng)域。大多數(shù)分析元素均可用其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小的特點。
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