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1.轉速范圍：100-9999RPM，轉速分辨率：1RPM
2.大單步步長3000S，旋轉時間分辨率1S
3.加速度可控范圍：100-9999RPM/S
4.可處理碎片（小于1cm）至4英寸（100mm）圓晶底物
5.液晶文本顯示，可提供中英文操作界面，簡單易用
6.快速運行和程控運行可選，多5組5步的程控操作模式
7.100W直流無刷電機，寬電壓適用：AC100-230V輸入
8.標配三種規

EasyCoater 4 被設計為結構緊湊、簡單易用，可多步操作，性能穩定，具有優異性價比的小巧型勻膠機。
結構緊湊 EZ4外型尺寸小巧，從手套箱過渡艙內方便進出。大推薦可旋涂4寸圓形底物。
文本顯示屏，界面簡單易用，清晰的功能按鍵，方便靈活操作。中英文界面可選擇。
程控操作可提供單步或多步程序旋涂運行，多可運行5步不同轉速及加速度的旋涂程序。

產品附件選擇：

l 標配三種規格載物盤（直徑10mm,25mm,55mm）。

l 根據基片尺寸和要求可提供嵌入式或檔桿式定制載物盤設計加工。

l 用于柔性薄膜基片可提供定制微孔陶瓷真空吸附載物盤。

l 旋涂內腔易拆卸，方便廢膠清洗，內腔可更換。

l 無油真空泵（抽氣量15L/min以上）或真空發生器可選

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