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氣體質量流量傳感器FS4000系列（FS4003和FS4008）產品概述
FS4000系列質量流量傳感器是采用的微機電系統流量傳感器技術和智能電子控制技術，為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監控，還可用于環境采樣器（如色譜分析儀器等）
FS4003氣體質量流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍到5SLPM；適用于
產品簡介
詳細介紹
氣體質量流量傳感器FS4000系列(FS4003和FS4008)產品主要特性
1）為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
2）支持多種連接方式，易于安裝與使用
3）傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
4）在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
5）輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
6）零點穩定度高
7）全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性
8）低功耗、低壓損
9）響應速度快
三、 氣體質量流量傳感器FS4000系列(FS4003和FS4008)產品技術參數
性能參數 | FS4003 | FS4008 | 單位 |
通 徑 | 3 | 8 | mm |
流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
量程比 | 100:1 |
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精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復性 | 0.75 | % | |
零點輸出飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | ±0.12 | %/oC | |
響應時間 | 10（默認，可設置20,50,100,200,500,1000） | ms | |
工作電源 | 8~18Vdc,100mA |
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輸出方式 | 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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流量壓損 | 100 | 600 | pa |
工作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | -10 ~ +55 | ℃ | |
存儲溫度 | -20 ~ +65 | ℃ | |
工作濕度 | <95%RH（無結冰、無凝露） |
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機械接口 | BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 | BSPT1/4(R1/4) |
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校準方式 | 空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa |
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重量 | 57（帶R1/4,BSPT1/4接口） | g | |
71 (帶4mm，8mm快速接口) | |||
68（帶6mm快速接頭) | |||