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產品簡介
詳細介紹
MF5000系列氣體質量流量計MF5003 MF5006 MF5008MF5012MF5019
- 采用微機電系統芯片加工技術和大規模集成電路的生產技術及材料生長技術，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高。
MF5006微型氣體質量流量計 - 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大提高。
MF5008微型氣體質量流量計- 傳感器零點穩定度較之傳統熱式質量流量計有*的改善。
MF50012微型氣體質量流量計- 結合二次儀表的微電腦智能技術，使流量計重復性好，實現了計量準確可靠。
- 技術進步帶來的結構簡化，使流量計較之傳統的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，*地降低了能源消耗。
- 采用LCD顯示"瞬時流量"和"累計流量"，清晰直觀，讀數方便。
- 產品融合了電磁兼容設計技術，具有更高抗干擾能力。
- 流量計帶有RS485通訊模塊，配合上位計算機網絡可實現集中管理。
- 可以選配4～20mA標準電流信號輸出。
MF50019微型氣體質量流量計機械尺寸：
型號 | 通徑 | 接口 | L | H | W | d | a | b | c |
MF5003 | 3 | 1/8" | 85 | 124 | 35 | Φ3 | 25 | 16 | 50 |
MF5006 | 6 | 1/4" | 95 | 127 | 35 | Φ6 | 25 | 18 | 50 |
MF5008 | 8 | 3/8" | 105 | 134 | 35 | Φ8 | 25 | 22 | 50 |
MF5012 | 12 | 1/2" | 116 | 137 | 40 | Φ12 | 30 | 25 | 50 |
MF5019 | 19 | 3/4" | 152 | 149 | 40 | Φ19 | 30 | 40 | 70 |
技術參數：
精確度 ±(1.5+0.2FS)%
測量范圍 0.01~65m/sec
測量管徑 1~19 mm
使用環境 溫度: -20~65
顯 示 瞬時流量; 累計流量
輸出模式 4~20mA; RS485; 脈沖
校準條件 20oC; 101.325 kPa.
產品選型：
型號 | 通徑 | 接口 | 大工作壓力 | 測量范圍 | |||
sccm | SLPM | SCFM | NCMH | ||||
MF5003 | 3 | 1/8" | 1.5 | 15-1500 | 0.15-15 | ||
MF5006 | 6 | 1/4" | 1.5 | 0.5-50 | 0.02-2 | 0.035-3.5 | |
MF5008 | 8 | 3/8" | 1.5 | 1.2-120 | 0.045-4.5 | 0.075-7.5 | |
MF5012 | 12 | 1/2" | 1.5 | 3-300 | 0.1-10 | 0.17-17 | |
MF5019 | 19 | 3/4" | 1.5 | 8-800 | 0.28-28 | 0.48-48 | |