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濟南魯熱儀器有限公司
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單溫區滑桿式PECVD系統

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號HGSK2-10-12DZ-PECVD

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地濟南市

更新時間:2024-11-20 15:03:34瀏覽次數:1705次

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產地類別 國產 加熱方式 合金電阻絲
價格區間 面議 控溫精度 ±1℃℃
內部尺寸 φ100mm 升溫速度(達到最高溫) 60/min
儀器種類 管式爐 應用領域 環保,化工,生物產業,制藥/生物制藥
最大功率 3500kW 最高溫度 1200℃
單溫區滑桿式PECVD系統由滑竿式真空管式爐、石英真空室、射頻電源、供氣系統、抽氣系統、真空測量系統組成。單溫區滑竿式PECVD系統相對于CVD系統增加了等離子發生器

單溫區滑桿式PECVD系統

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一、PECVD系統組成:

單溫區滑桿式PECVD系統由滑竿式真空管式爐、石英真空室、射頻電源、供氣系統、抽氣系統、真空測量系統組成。


二、系統特點:

1、通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態

2PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低

3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小

4單溫區滑桿式PECVD系統比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高

5、廣泛應用于:各種薄膜的生長


三、系統組成

1HGSK2-10-12DZ單溫區滑竿式管式爐

1.1、爐管尺寸:φ100*1800mm

1.2、爐管材質:石英玻璃

1.3、外型尺寸:1800*460*660mm

1.4、溫區數量:單溫區

1.5、設計溫度:1200

1.6、電源功率:AV200V\50Hz3.5kw

1.7、滑軌材質:不銹鋼

1.8、滑動方式:手動不銹鋼滾珠軸承

1.9、控溫儀表:智能30段程序控溫儀表

1.10、控溫精度:±1

1.11、加熱區長度:400mm

1.12、控制方式:可控硅觸發控制

1.13、熱電偶:K

1.14、安全措施:超溫、過壓、過流

1.15、真空密封:不銹鋼法蘭

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2、射頻電源(等離子發生器)

2.1、功率范圍:0-500w

2.2、最大發射功率:200w

2.3、射頻寬度:0-600mm

2.4、射頻接口:50Ω N-TYPE

2.5、射頻工作頻率:13.56MHZ

2.6、電源:AC220v50Hz

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3、供氣系統

3.1、雙路質子流量供氣系統

3.2、質子流量計流量范圍可選

3.3、進出氣接口:標配雙卡套不銹鋼接頭

3.4、供氣系統壓力范圍:0.1-0.5MPa

3.5、混氣室:φ50*400mm

3.6、接口規格:φ6  1/4"

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4、真空抽氣系統

4.1、真空泵FX-16

4.1.1、極限壓強:4*10-2Pa

4.1.2、進氣接口:KF25

4.1.3、電機轉速:1440RPM

4.1.4、抽氣速率:4L/S

4.1.5、電機功率:550w

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4.2、電阻真空計ZDR-1

4.2.1、功率:25w

4.2.2、真空度范圍:0.1-10*5Pa

4.2.3、電阻硅:ZJ-52T

 

HGSK2-10-12DZ-PECVD單溫區滑竿式PECVD系統配置:

單溫區滑竿式管式爐一臺、射頻電源一套、兩路質子流量供氣系統一套、抽真空系統一套


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