RTS-1345型全自動四探針測試系統是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、真空泵、屏蔽罩、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制進行全自動測試，然后把測試數據采集到計算機中加以分析，以表格、圖形方式統計分析顯示測試結果。
| | 可對樣品進行單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的全自動測試； |
| | 屏蔽測試，*消除光線對樣品測試的影響，保證測量的準確性； |
| | 吸附測試，*消除全自動測試過程中樣品移動對測試的影響； |
| | 可不連接電腦使用進行單點、中心五點、邊緣五點測試并把測試結果同時顯示于顯示屏； |
RTS-1345型四探針軟件測試系統是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進行統計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶對數據進行各種數據分析。 |
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| 技 術 指 標 ： |
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測量范圍 | 電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴展)；
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴展)；
電導率：0.0005～10000 s/cm；
電阻：0.0001～2000Ω.cm； | 可測晶片直徑 | Φ=200mm； | 恒流源 | 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續可調 | 數字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示； | 四探針探頭基本指標 | 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)； | 四探針探頭應用參數 | (見探頭附帶的合格證) | 模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 | 整機測量最大相對誤差 | (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% | 整機測量標準不確定度 | ≤5% | 測試模式 | 連接電腦使用可對樣品進行單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的全自動測試，不連接電腦情況下可進行單點、中心五點、邊緣五點測試并把測試結果同時顯示于顯示屏。 | 消除測試過程中影響因素 | 屏蔽和吸附測試，*消除光線和全自動測試過程中樣品移動對樣品測試的影響，保證測量的準確性。 | 標準使用環境 | 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強光直射； |
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