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磁控濺射鍍膜儀有沒有輻射

閱讀:2140      發(fā)布時間:2022-6-13
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       磁控濺射儀當(dāng)然有輻射,
  1、可見光波段:陰極發(fā)射的電子電離介質(zhì)氣體分子,分子/原子光譜。這些光密度不大,不至于刺傷鈦合金狗眼.屬于無害輻射。
  2、不可見光波段:陰極發(fā)射的電子電離介質(zhì)氣體分子,紅外/紫外,分子/原子光譜。紫外輻射有害
  3、X射線:氣體電離后的離子,在陰極加速場作用,轟擊陰極靶材,作用區(qū)也比較復(fù)雜,除了實(shí)現(xiàn)離子刻蝕濺射以外,還有類似掃描電鏡類似的散射出現(xiàn),如二次電子,二次離子,及各種射線輻射。
  在樣品端,電子會激發(fā)出更多X射線,盡管磁控裝置讓大部分電子行程增加,到達(dá)樣品其能量衰減近乎零,但會有一部分陰極電子或二次電子以最大能量轟擊樣品,從而會有X射線產(chǎn)生,如果連接類似掃描電鏡附件X射線能譜儀,你會發(fā)現(xiàn)驚喜!
  至于這些X射線是否有害,一般來說,紫外粒子能量足以電離物質(zhì),磁控濺射儀最大工作電壓3000V,理論上最大輻射能量3Kev,這些輻射是相當(dāng)危險的。
  對于掃描電鏡樣品制備馳奔小型濺射儀來說,大多1000V以下工作電壓,玻璃罩子可以有效阻攔紫外能量以上的高能射線,而可見光輻射對人基本無害。

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