全自動渦流法?電阻率F方阻方阻是一種利用電磁感應(yīng)原理進行檢測的方法。當(dāng)載有交變電流的試驗線圈靠近導(dǎo)體工件時，會產(chǎn)生交變磁場，進而在工件中感生出密閉的環(huán)狀電流，即渦流。渦流的大小、相位及流動形式受到工件性質(zhì)（如電導(dǎo)率、磁導(dǎo)率、形狀、尺寸）及有無缺陷的影響，通過儀器測量這些變化可以判斷工件的性質(zhì)和狀態(tài)。??EFEM（Front End Modules）是半導(dǎo)體設(shè)備前端模塊的簡稱，是連接物料搬運系統(tǒng)和?硅片處理系統(tǒng)的橋梁。? EFEM的主要功能是在高潔凈環(huán)境下傳輸晶圓，確保晶圓能夠順利傳輸?shù)焦に嚭蜋z測模塊