1. 樣品前處理
- 導電膠粘結法：首先，將樣品臺準備好，貼上導電膠（如銀膠或碳膠）。使用牙簽蘸取少量粉末，輕輕撒在導電膠上，然后通過震動和吹掃去除未粘附的粉末，確保單層分布。
- 超聲波分散法：對于細小粉末，可以將其與適量的溶劑（如乙醇）混合，超聲處理后滴在樣品臺上，干燥后進行觀察。
- 直接撒粉法：適用于較粗粉末，直接撒在樣品臺上，可使用分散劑輔助，之后吹掃去除松散粉末。
2. 避免荷電
- 對于非導電性粉末，為了減少電子束照射時的荷電效應，可能需要在SEM分析前對樣品進行表面處理，如鍍碳或噴金。
3. SEM操作設置
- 工作距離和電壓調整：根據粉末的性質調整SEM的工作距離和加速電壓，以獲得最佳的分辨率和圖像對比度。
- 二次電子成像：通常使用二次電子探測器，因為它對表面形貌敏感，適合觀察粉末顆粒的細節。
4. 數據分析
- 顆粒統計軟件：利用如飛納掃描電鏡顆粒統計軟件，可以快速分析顆粒的尺寸、形態等，提供定量數據。
- Nebula等工具：對于更高級的分析，可以使用真空分散技術的設備，如Nebula，來確保粉末均勻分散，便于分析。
5. 特殊考慮
- 溫度控制：對于溫度敏感的粉末，可能需要特殊的樣品室或環境掃描電鏡。
- 重復性：確保每次制樣的一致性，以便結果可比。
6. 實驗記錄
- 記錄所有制樣條件和SEM參數，以便后續重復實驗或分析結果的解釋。
通過上述步驟，可以有效地在SEM中對粉末樣品進行分析，揭示其微觀結構、顆粒大小分布、形貌特征等重要信息，這對于材料科學、化學、地質學等多個領域至關重要。
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