探針臺本體

整機尺寸（mm）

700mmL*700mmW*720mmH

750mmL*750mmW*720mmH

880mmL*880mmW*720mmH

重量

75kg

95kg

150kg

卡盤大小

6" ,360 度轉動, 可微調

8" ，360 度轉動 ， 可微調

12",360 度轉動，可微調

卡盤行程和精度

6"*6" ， 精度 10um

8"*8" ， 精度 10um

12"*12" ， 精度 10um

卡盤氣浮移動范圍

360度快速移動，便于快速定位，提高測試效率

卡盤升降功能

Chuck可以上下快速升降 5mm 和微調升降 5mm ，精度 1 微米(使用探針卡的時候使用)

卡盤吸附方式

真空吸附 ， 可選擇環形吸附或者多孔吸附 （適用于薄片）

背電極測試功能

具備 ， 樣品臺電學獨立懸空 ， 帶 4mm 香蕉頭插口

針座平臺

材質

U 型平臺 ，鍍鎳 ，與探針座之間具備更強吸附力

大小

最多可放置6個探針座

最多可放置8個探針座

最多可放置12個探針座

三段式升降平臺

探針平臺可以快速升降 ， 擁有 3mm 和 300um 兩檔 ， 探針平臺可以上下微調 ， 行程 25mm ， 升降精度 1µm。(使用探針卡的時候使用)

顯示系統

顯微鏡成像系統

體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD 成像系統

倍率范圍

16X~100X/60X~420X/20X~4000X

顯微鏡行程

具備高剛性龍門架結構 ， XYZ 行程分別為 2 英寸*2 英寸*2 英寸 ， 精度 1um

CCD 成像系統

200 萬/500 萬像素 ， 幀率 60fps，帶拍照、  錄像、  測量功能

探針座

種類

DR/L-200m/V和DR/L-100m/V 和 DR/L-40m

X-Y-Z 行程

12mm-12mm-12mm

機械精度

0.35um/0.7um/2um

夾具

漏電精度

10pA/100fA

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口/SMA /裸線等

其它

選件

屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率

電力需求

220V/50HZ