SJ-401三豐粗糙度儀

三豐粗糙度儀SJ-401測量范圍

X 軸(檢出部) 25mm 50mm

Z 軸(檢出部) 800μm、80μm、8μm

* 選配測頭大可到2,400μm

三豐粗糙度儀SJ-401檢出器

三豐粗糙度儀SJ-401檢出方式差動電感方式

三豐粗糙度儀SJ-401分辨率

0.01μm(800μm 范圍)

0.001μm(80μm 范圍)

0.0001μm(8μm 范圍)

測頭尖形狀(角度/ 半徑) 60o/2μm 90o/5μm 60o/2μm 90o/5μm

測力0.75mN 4mN 0.75mN 4mN

彎曲半徑40mm

檢測方法無軌式/ 有軌式(切換)

驅動部(X 軸)

測量速度0.05、0.1、0.2、0.5、1.0mm/s

驅動速度0.5、1、2、5mm/s

直線度0.3μm / 25mm 0.5μm / 50mm

上下傾斜單元

上下移動量10mm

傾斜角度±1.5o