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| 應用領域 | 食品/農產品,化工,石油,制藥/生物制藥,綜合 |
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富士工業超聲波液體濃度計 FUD-1 Model-13 CMP用/汎用薬液用產品介紹：
超聲波液體濃度計單成分用
半導體制造用
FUD-1Model-13
測量原理
超聲波在液體中非常易于傳播
超聲波在溶液中傳播的速度受溶液的濃度和溫度影響
「濃度變化」→「密度變化」→「音速變化」
本產品利用超聲波的特性，高精度的測量溶液的濃度
測量「溶液的溫度」+「超聲波的速度」→通過CPU演算處理→濃度顯示
可根據檢量線的交換測量各種半導體藥液的濃度
發信器小型、輕量，可直接在線裝置
免保養設計
接液部分全部采用（PFA)材料
小型輸出設計，對藥液沒有影響
單成分濃度計的特點
實時濃度測量可能，濃度管理系統構筑簡單
模擬DC4～20mA及數字RS232C標準輸出
標配測量錯誤輸出和警報輸出
標配自我診斷功能·錯誤信息提示
小型·輕量小型發信器在線直接設置可能
采用PFA的接液構件、小輸出設計對藥液沒有影響
優點
高精度連續計測可能
無需定期調整、校對，無需維護
設置時的各種調整等不需要也容易設置
由于實時輸出反饋也容易
用途
在CMP工序中的CMP襯墊或氧化劑濃度管理等
稀釋工程的各種藥液濃度管理等（H2O2?TMAH?HNO3?H2SO4?HCl等）
在清洗過程中的清洗液濃度管理等（HF?NH4OH?KOH?IPA等）
蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等（HF?H2SO4等）
富士工業超聲波液體濃度計 FUD-1 Model-13 CMP用/汎用薬液用參數：
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