賽默飛已設計生產了特定大小的微粒用來校準用于半導體工業的掃描表面監測系統(SISS)。

通過與儀器生產商合作，研發生產出Surf-Cal微粒尺寸標準品(干)系列產品以滿足SEMI 標準規則要求。可提供的微粒尺寸包括半導體技術藍圖 (ITRS)¹定義的關鍵的尺寸節點的大小。

使用賽默飛Surf-Cal微粒尺寸標準品(干)，粒度標準簡化校準晶片的制備，用于掃描表面檢測系統（SSIS）的校準和維護。可用的粒徑對應于儀器制造商要求的校準點尺寸。

特點：

• Surf-Cal標準品可用來簡化您工廠內校準晶片的準備工作。可提供的微粒尺寸與儀器生產商要求的校準點大小*。
• 將 Surf-Cal 系列 NIST 溯源的聚苯乙烯微粒置于特別選定的晶片上，您就可以執行定期校準檢查，并可將您的掃描儀與其他地方的掃描儀進行對比。
• 您也可以在生產過程中的關鍵階段對SSIS 系統進行性能評估。
• 這一系列標準品懸浮于去離子過濾水中，以終濃度3×10 ^8個微粒/ mL、50ml瓶裝的規格包裝。PD1100 系列產品以及更小的微粒也提供濃度為10 ¹⁰微粒/mL 的規格，主要用于微分遷移率分析儀（DMA）或其它尺寸排除技術輔助的領域。

測量方法：

為了確保能直接溯源至NIST，這些產品獲得認證的直徑是通過投射電子顯微鏡，或光學顯微鏡由NIST標準參考物質²轉移而得的。不確定度是根據NIST技術注釋1297, 1994版―評估與表達NIST測定結果不確定度的導則³計算而得。認證證書中標明的不確定度值是采用覆蓋因子2(K=2)擴展后的不確定度。

峰值直徑是采用微粒尺寸分布±2s的范圍計算而得。計算的尺寸分布作為峰值的標準偏移圖。變異系數是指一個標準差與峰值直徑的百分比。FWHM分布是半峰值高的分布占據峰值直徑的百分比計算而得的。

1. ―半導體技術藍圖 (ITRS)‖, 半導體工業協會 (1999)

2. S.D. Duke 與 E.B. Layendecker, ―采用電子顯微鏡進行亞微球粒子的尺寸校準的標準方法‖, 精密粒子協會 (1988)

3. Barry N. Taylor 與Chris E. Kuyatt, ―評估與表達NIST測定結果不確定度的導則‖.NIST 技術注釋 1297, 1994 版, 9月，1994.

技術參數

成分：聚苯乙烯

密度：1.05g/cm3

折射指數：1.59@589nm(25°C)

添加劑：無