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精密氣浮隔振光學平臺的主要應用
閱讀：810 發(fā)布時間：2023-11-11
精密氣浮隔振光學平臺能夠滿足精密負載對振動隔離需求，上面板采用優(yōu)質高導磁SUS430不銹鋼，臺面內核為三層夾心式蜂窩結構，內核密度大幅度提高，具有優(yōu)秀的硬重比和剛性，同時保證了較低的固有頻率，具備行業(yè)較高的隔振效果。上臺面采用精密磨削工藝，平面度可達≤0.05mm/㎡，表面粗糙度<0.6um，回旋打磨工藝清除毛邊，達到無反射、啞光效果，面板具有M6陣列螺孔，易于固定光學元件。氣浮支架采用整體焊接工藝（四支撐或六支撐結構），半膜片式空氣彈簧，采用進口三水平調節(jié)閥技術，反應靈敏，響應迅速，在超載偏重的實驗條件下，能瞬間恢復初始的平衡狀態(tài)。支撐腿內部為二級氣室結構，氣室間帶有阻尼孔，氣動元件全部采用德國FESTO產(chǎn)品，標配優(yōu)質大功率壓縮機，整體結構保證平臺有較高的穩(wěn)定性。
應用：
顯微鏡系統(tǒng)、激光測試、光學制造、光電儀器研發(fā)與測試、生物醫(yī)療、精密機械制造、精密化工和無損檢測、集成電子電路、拉曼光譜實驗、精密檢測校準、對振動要求高的儀器設備。
中心為蜂窩/井字鋼支撐結構，底板為碳鋼，在保證隔振性能得同時，提高了剛性、穩(wěn)定性，臺面精磨；
氣浮支架采用囊式空氣彈簧，每個支撐腿配備由單獨氣室；
采用整體焊接四支撐結構，下方為阻尼隔振墊，隔振性能好；
氣浮支架底部帶有高度調節(jié)功能，可以解決地面不平引起的支架扭曲、變形等情況；
采用原裝德國FESTO空氣伺服系統(tǒng), 自動調整水平；瞬間達到初始的平衡狀態(tài),提高光學隔振平臺的隔振效果。