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INFICON復(fù)合真空計

按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。

利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。

INFICON復(fù)合真空計

與皮拉尼電阻規(guī)一樣，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。

熱陰極電離規(guī)

測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。

圖5 熱陰極電離規(guī)

如圖5所示，熱陰極電離規(guī)中，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，由收集極收集產(chǎn)生的離子，形成離子電流，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進而得到氣壓大小。

這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。

經(jīng)改進后的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert規(guī)，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。

由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進行標(biāo)定

在較高壓力時(10～1Pa)利用壓力差U型管壓力計，麥克勞真空計，薄膜計，彈簧管壓力計等。

在10～10Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo)，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。

在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。

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INFICON PCG550 3PC1-001-0000

Infineon "FZ2400R17HE4_B9 "

infineon FF300R17KE3

Infineon FZ2400R17KE3_B9_S1

Intel EXPI9301CTBLK

INTELLIGENT IM483

Interface IBX-2130CM

INTERFACE IBX-2726CM

interface PCI-2130C

Invensys MP-5210-0-0-4

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