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3PC1-001-0000-INFICON復合真空計
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貨物所在地:福建廈門市

更新時間:2025-03-17 08:29:12

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INFICON復合真空計
真空計(Vacuum Gauge),又名真空表,是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業生產中廣泛使用。

INFICON復合真空計



INFICON復合真空計


按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。


利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(Bourdon)和薄膜電容規;利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規和熱電偶規;利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。

INFICON復合真空計

與皮拉尼電阻規一樣,這種規也需要在不同的使用氣體下標定。





熱陰極電離規



測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。



圖5 熱陰極電離規

如圖5所示,熱陰極電離規中,由熱陰極即燈絲發射電子,電離真空中的氣體分子,產生離子,由收集極收集產生的離子,形成離子電流,通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,進而得到氣壓大小。

這種規的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。


經改進后的熱陰極電離規,Bayard-Alpert規,可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。


由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,這種規在使用時也需要在不同氣體下進行標定


在較高壓力時(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計,麥克勞真空計,薄膜計,彈簧管壓力計等。


在10~10Pa的中間壓力范圍,利用氣體性質(熱傳導,粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。


在低壓力時,使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。


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