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氣動(dòng)主動(dòng)微振動(dòng)控制系統(tǒng)“α系列"特許機(jī)器株式會(huì)社可以支持從3點(diǎn)到多點(diǎn)!根據(jù)設(shè)備規(guī)格和要求量身定制的微振動(dòng)控制技術(shù)
“α系列"是一款氣動(dòng)主動(dòng)微振動(dòng)控制系統(tǒng),匯集了微振動(dòng)控制技術(shù)的精華。
半導(dǎo)體和液晶變得越來(lái)越精細(xì),為了提高生產(chǎn)效率,
向著更高精度和更快的速度轉(zhuǎn)變,這就
需要能夠快速消除大的直動(dòng)擾動(dòng)的技術(shù)。該產(chǎn)品滿足了這些市場(chǎng)需求,具有
優(yōu)異的隔振性能、控制性能和恢復(fù)性能。
[特點(diǎn)] ■優(yōu)異的隔振性能■穩(wěn)定時(shí)間快,位置控制準(zhǔn)確■高耐用性*詳情請(qǐng)參閱PDF文檔或隨時(shí)聯(lián)系我們。
基本信息氣動(dòng)主動(dòng)微振動(dòng)控制系統(tǒng)“α系列"
[氣動(dòng)控制的特點(diǎn)]
■低范圍隔振性優(yōu)異
■易于承受靜載荷
■易于控制位置姿勢(shì)
■大行程
■無(wú)蠕變
■無(wú)發(fā)熱
■無(wú)磁通泄漏
*詳情請(qǐng)參閱PDF文件請(qǐng)查看或隨時(shí)與我們聯(lián)系。