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Alicat艾里卡特耐高壓系列氣體質量流量計
規格
可定制量程 10 SCCM -1000 SLPM
· 量程: 10 SCCM至5000 SLPM(10,000 SLPM for H2)
· 量程比: 0.1% – 100% 滿量程
· 精度: ±0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程,以兩者中較大者為準
· 重復性: +0.1% 滿量程
· 響應時間: < 10 ms
· 工作溫度: –10℃ to +60℃
· 工作壓力: 320 PSIA (22 barA)
Alicat艾里卡特耐高壓系列氣體質量流量計
特點
· 同時測量體積流量、質量流量、氣體壓力和氣體溫度
· 可調整的工程單位和STP/NTP條件
· ?98+內置氣體自由切換，并具有NIST可追溯精度
· 可自定義和儲存 20?種氣體混合物(多達5種氣體)
· 背光顯示器并使用集成觸摸板控制配置
· 標配流量累加器以及警報器
配件
· 電源、電纜和配件（單獨售出）
組成和性能選項
· 通訊模式: Analog, RS–232, RS–485, Modbus RTU, Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus, PROFINET
· 過程連接 : NPT, SAE, AN, BSPP/G, compression, VCR, VCO
· 顯示屏 : 背光單色屏或TFT彩屏；一體化集成或面板單獨安裝；無
· 密封圈: FKM, FFKM, EPDM, Silicone
· 校準: 自定義校準點
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