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UNECS-3000AULVAC愛發科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀
參考價: 3265
訂貨量: 1
具體成交價以合同協議為準
  • UNECS-3000A 產品型號
  • ULVAC/日本愛發科 品牌
  • 經銷商 廠商性質
  • 深圳市 所在地

訪問次數:574更新時間:2024-11-23 11:45:39

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產品簡介
產地類別 進口 應用領域 環保,石油,能源,電子/電池,電氣
訂貨號 137**1702**3088王生
ULVAC愛發科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀

透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等)的膜厚、折射率、消光系數的測量
產品介紹

ULVAC愛發科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀

ULVAC愛發科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀


可以進行映射測量的自動臺型


UNECS系列是一種分光橢偏儀,可以高速、高精度地測量薄膜的厚度和折射率。采用測量方法,實現高速測量和緊湊化。我們提供廣泛的產品陣容,以適應不同的應用,包括便攜式類型、自動平臺類型和與真空環境兼容的內置類型。

UNECS-1500A/2000A/3000A采用自動R-θ平臺和自動對焦功能,可快速自動測量基材表面內的膜厚分布,并將結果顯示在彩色圖上。

用途

透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等)的膜厚、折射率、消光系數的測量

特征

高速測量:

采用快照方式,實現了最高速度20ms的高速測量。

兼容可見光譜:

波長范圍可選擇標準型(530nm~750nm)和可見光譜型(380nm~760nm)。

緊湊的傳感器單元:

光發射/接收傳感器僅由光學元件組成,沒有旋轉機構,并且非常輕便和緊湊,并且不需要定期維護。

豐富的產品陣容:

我們擁有可適應各種應用的產品陣容,包括便攜式類型、手動/自動平臺類型、大型基板類型以及與大氣/真空環境兼容的內置類型。


規格

模型1500A2000A3000A
波長范圍530~750nm、380~760nm(任選其一)
光斑直徑φ1mm、φ0.3mm(任選其一)
入射角度70o固定
膜厚再現性1σ = 0.1nm
膜厚范圍1nm?2μm
測量時間受光:20ms ? 3000ms 演算:300ms
階段φ150mm自動φ200mm自動φ300mm自動
自動測量200點200點2,000點
控制電腦筆記本型(帶操作/分析軟件)
機器構成測量單元、控制器、操作電腦(筆記本型)、使用說明書(CD)




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