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ULVAC愛發科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀
ULVAC愛發科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀
UNECS系列是一款光譜橢偏儀,可高速、高精度測量薄膜的厚度和折射率。采用測量方法,實現高速測量和緊湊化。我們提供廣泛的產品陣容,以適應不同的應用,包括便攜式類型、自動平臺類型和與真空環境兼容的內置類型。
UNECS-1500M配備了易于操作的手動R-θ平臺,兼容φ150mm,使測量定位變得容易。
用途
透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等)的膜厚、折射率、消光系數的測量
特征
高速測量:
采用快照方式,實現了最高速度20ms的高速測量。
兼容可見光譜:
波長范圍可選擇標準型(530nm~750nm)和可見光譜型(380nm~760nm)。
緊湊的傳感器單元:
光發射/接收傳感器僅由光學元件組成,沒有旋轉機構,并且非常輕便和緊湊,并且不需要定期維護。
豐富的產品陣容:
我們擁有可適應各種應用的產品陣容,包括便攜式類型、手動/自動平臺類型、大型基板類型以及與大氣/真空環境兼容的內置類型。
波長范圍 | 530~750nm、380~760nm(任選其一) | |
光斑直徑 | φ1mm、φ0.3mm(任選其一) | |
入射角度 | 70o固定 | |
膜厚再現性 | 1σ = 0.1nm | |
膜厚范圍 | 1nm?2μm | |
測量時間 | 受光:20ms ? 3000ms 演算:300ms | |
階段 | φ150mm手動R-θ平臺 | |
控制電腦 | 筆記本型(帶操作/分析軟件) | |
機器構成 | 測量主體(帶手動載物臺、控制箱)、 光源裝置、操作電腦(筆記本電腦型)、使用說明書(CD) |
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