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極紫外平面反射鏡通用規格：
| 產品編碼 | Dia. (mm) | 表面平整度 (P-V) | 基底 |
| 38-759 | 25.40 ±0.25 | λ/10 @ 632.8nm | Single Crystal Silicon |
| 38-760 | 25.40 ±0.25 | λ/10 @ 632.8nm | Single Crystal Silicon |
極紫外平面反射鏡是多層反射鏡，在其設計波長和入射角下實現最大反射率。這些反射鏡的特點是反射涂層沉積在一個超拋光的單晶硅基板上，表面粗糙度小于3? RMS. 45°自動光學檢驗反射鏡可用于轉向s偏振光束，而 5° 自動光學檢驗反射鏡可用于非偏振光束. 極紫外線反射鏡的應用包括相干衍射成像 (CDI) 和材料科學研究。紫外平面反射鏡也可用作高次諧波 (HHG) 光束的諧波選擇器.
注意: 附帶每個反射鏡運行樣本的測試數據.
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