半導體微晶光刻機汞燈是一類專為微電子制造過程中的光刻環節設計的光源設備，主要應用于集成電路、液晶顯示器和印刷電路板的生產。

這種汞燈通常工作在紫外線光譜范圍內，能夠提供高亮度、特定波長的光線，以實現精確的圖形轉移。其類型和功能多樣化，能夠滿足不同光刻技術的需求。它的工作原理是通過瞬間高強度的紫外線照射，通過掩膜將電路圖案精確地轉移到硅片上的光刻膠上。

這類汞燈通常采用短弧設計，能夠產生極其集中的光源。由于其在生產過程中的關鍵作用，這些汞燈的設計和制造要求非常嚴格，以確保光源的穩定性和使用壽命。例如，歐司朗（OSRAM）生產的HBO系列汞燈就廣泛應用于半導體光刻領域。這些燈泡具備從200W到8000W不等的不同功率，以滿足不同的生產需求。其優點包括使用壽命長、光衰率低、維護方便等。