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測(cè)量顯微鏡是一種尺寸測(cè)量裝置，可根據(jù)使用顯微鏡放大和觀察的圖像來(lái)測(cè)量尺寸。
它結(jié)合了具有精確放大倍率的光學(xué)顯微鏡、用于比較測(cè)量的模板以及用于在平面上精確移動(dòng)測(cè)量工件的XY 平臺(tái)。使用測(cè)量顯微鏡可以進(jìn)行非接觸式測(cè)量，從而可以在不損壞工件的情況下觀察輪廓和表面。
測(cè)量顯微鏡通常使用遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)。近年來(lái)，一些型號(hào)在光學(xué)頭中采用了無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)，可以進(jìn)行微分干涉觀察和簡(jiǎn)單的偏振觀察。
測(cè)量顯微鏡的使用
測(cè)量顯微鏡用于相對(duì)較小的機(jī)械零件、電子設(shè)備零件和半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)和質(zhì)量控制。該測(cè)量裝置適用于測(cè)量小零件和不使用顯微鏡難以測(cè)量的精細(xì)零件。
除了測(cè)量尺寸外，它還可以用于使用偏振光和微分干涉進(jìn)行觀察，例如檢測(cè)半導(dǎo)體基板上的劃痕。由于放大倍率的準(zhǔn)確性，通過使用模板進(jìn)行比較測(cè)量來(lái)確定產(chǎn)品是否在公差范圍內(nèi)，對(duì)于簡(jiǎn)單檢查也很有用。
測(cè)量顯微鏡既可以用作測(cè)量裝置，也可以用作顯微鏡，并且一臺(tái)裝置可以用于多種用途。
測(cè)量顯微鏡原理
測(cè)量顯微鏡可按照明方式分類。
1. 透照法
透射照明是一種透射照明，它允許光線穿過以捕捉物體的輪廓并測(cè)量其尺寸。用于測(cè)量輪廓。
2.垂直反射照明
垂直反射光將光垂直照射到物體表面，并利用反射光觀察表面。垂直反射照明不僅可以測(cè)量尺寸，還可以觀察表面形狀。
3.斜反射照明
斜反射照明是一種將光線傾斜地照射到被測(cè)物體表面的照明方法。其特點(diǎn)是強(qiáng)調(diào)圖像的對(duì)比度，因此可以獲得三維且清晰的圖像。然而，測(cè)量尺寸時(shí)可能會(huì)出現(xiàn)錯(cuò)誤。
