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應用領域	石油,建材/家具,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合	序列號	176.0755.4908.

新款ULVAC愛發科多級羅茨型干泵節電配件

特點

通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理，進行腐蝕。

采用ULVAC 設計的底座軸，實現高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。

目的

半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。

真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統LS系列的基礎上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

當使用干泵時可選配，用于降低排氣噪音。

特點

大氣壓附近的排氣速度高，可以縮短排氣時間。

ECO-SHOCK技術實現低功耗（C型號）

　極限壓力下的功耗為0.6 kW或更低（LS120A-C）

配有專用的消音器

　極限壓力下的噪音水平為61 dB（A）或更低

無需先前所需要的軸封氣體

　※L型可以使用稀釋氣體。

排氣速度120-1200 m3 / h級　※可與機械增壓泵結合使用

　可以根據應用選擇最佳排氣能力的型號

得點

出色的消音效果

可以通過卡箍連接到泵的排氣口

規格

型式		ES10	ES4A
電源	規格	單相　AC100～220V　50/60Hz	單相　 AC200～220V±5% 50/60Hz
	最大功耗	65W *1	400W
控制	輸入	遠程啟動/停止（接點 DC24V有電圧）　接點容量2.0A以上請準備無電源接點 *2
	輸出	過電流報警輸出(接點無電圧) 接點容量：DC24V 1.0A	啟動確認、省電確認、本體警報、過電流警報
	顯示	運作時間顯示	運作時間、啟動確認、省電確認、本體警報、過電流警報
外觀尺寸	本體單元	175mm×310mm×240mm	250mmx475mmx373mm
	閥單元	Φ66mm×110mm(NW40) *3	選項
質量		本體單元：8.3kg　閥單元：800g	32kg
質量		G1/4" (INLET、OUTLET)　已安裝連接器	Φ16mm管接頭( 推薦管的長度為1.5m以內)

*1 干泵的使用工藝氣體、吹掃氣體 0Pam3/s*2 手動啟動/停止時可以通過跳轉控制連接器的PIN，來ON/OFF電路保護器。*3 ES10標配一個閥單元

*1 電源頻率60Hz
*2 密封氣體5SLM
*3 包含ECO-SHOCK ES4A功耗
*4 300L腔室反復排氣60秒節拍的測量示例。