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測量原理	見參數	產地類別	進口
價格區間	2千-5千	量程	見參數mbar
應用領域	化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合	真空接口	見參數
序列號	176.0755.4908.

ULVAC愛發科 SH200-A 電離真空計設備

操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設定點設置、狀態確認等。

燈絲壽命通知功能：通過監測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測量范圍：復合電離真空計可以根據工藝選擇測定子。

小型化：與之前的產品相比，實現了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產品之一。

更豐富的陣容：除了模擬輸出規格和串行通信規格之外，還將增加EtherCAT規格

一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環境中，真空計的使用壽命也很長。

壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。

可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。

用途

用于有機EL?觸摸屏等制造設備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業真空設備的極限壓力確認

用于在含有多種碳氫化合物（油類）的環境中進行測量

用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環境中進行測量

用于需要降低測定子更換頻率的真空設備

規格

型號		SH200-A	SH200-R	HT200-E （即將上市）
規格		標準規格	串口通信規格	EtherCAT規格
適應多離子傳感器		M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
可以連接的傳感器		多離子傳感器：1本皮拉尼真空計SWU10-R：1本（可選）大其他傳感器SAU：1本（可選）
測量精度（N₂）		SH200本體模式：±2％
取樣時間		60ms 5回移動平均処理
測定値出力		出力電壓 DC 0～10V　LOG出力 0.75V/1桁圧力換算公式　V=7.25+0.75×(LogP-2)　P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新時間		60msec
控制輸入信號		FIL ON/OFF, FIL　1/2, DEGAS ON/OFF 打開集電極動作、負邏輯 * FIL ON/OFF信號使用方式因模式而異	-	-
制御出力信號		傳感器錯誤，設定點1/2/3, 有效排放,燈絲電力監控定格：24V_MAX、50mA_MAX、飽和電圧1V	-	-
串行通信規格		-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED顯示		POWER/ERROR：電源、LED ERROR (閃爍狀態根據各種模式變化)
發射電流		1mA (1×10^-3Pa以下), 10μA (1×10^-3Pa以上)
DEGAS		電子轟擊脫離方法（電子轟擊）1mA、330V
測量部耐圧性		2×10⁺⁵Pa （絕對壓力） * 需要單獨考慮法蘭和夾具等的耐壓性
傳感器內部容量		17cm³(M-44), 19cm³(M-45), 17cm³(M-46)
使用溫度范圍		10～50℃
使用濕度范圍		15～80%(不結露)
保管溫度		-20～65℃(非通電時、不結露)
IP保護等級		IP30
電源電壓		DC20～28V (波紋，噪音1%以下)　 8W以下
輸入/輸出連接器		D-sub15銷（M2.6螺絲）
重量		調節器：約280g　測定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm (控制器部分)
適合規格		CE
選項	多離子傳感器	M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) 材質：燈絲1,2 -Ir/Y₂O₃殼其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni???
	皮拉尼真空計傳感器	SWU10-R　※也支持傳統的SPU產品。
	皮拉尼真空計	SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034) 材質：燈絲－Pt, 其他－BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊接
	大氣壓傳感器	SAU(NW16) 材質：SUS316L
	單位電纜	GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m, GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m
	顯示單元	1CH：ISG1 (DC24V電源使用)
	顯示單元電纜	SH200～顯示單元電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30ｍ, 35m, 40m
	連接器	入出力連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲））
	其他	検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書

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