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CKD喜開理 微型流量傳感器
● 使用硅微加工的鉑金傳感器芯片
● 新提出的整流機構(gòu)實現(xiàn)了的緊湊和高速響應(yīng)
● 熱流量傳感器可以安裝在測量部件附近的運動部件的，可用于檢查電子元件作為一個系統(tǒng)的吸附和檢查泄漏
● Rapi Flow（R）
工業(yè)：
半導(dǎo)體制造工藝（后端工藝）
CKD喜開理 微型流量傳感器
日本CKD 微型流量傳感器 FSM-V-AH3-R0100-M5
這是一款用于壓縮空氣和氮氣的超小型流量傳感器。
由于其重量輕和響應(yīng)速度快，因此非常適合檢查電子元件的吸附情況。
產(chǎn)品特點：
● 使用硅微加工的鉑金傳感器芯片
● 新提出的整流機構(gòu)實現(xiàn)了的緊湊和高速響應(yīng)
● 熱流量傳感器可以安裝在測量部件附近的運動部件的，可用于檢查電子元件作為一個系統(tǒng)的吸附和檢查泄漏
● Rapi Flow（R）
工業(yè)：
半導(dǎo)體制造工藝（后端工藝）
CKD喜開理 微型流量傳感器
規(guī)格尺寸：
類型：流量傳感器
輸出方式：NPN 集電極開路
流量范圍（最大）：[小于 ~10] 1 L/min
管道開口的類型：一鍵式配件
閥體材質(zhì)：樹脂
傳感器監(jiān)視器結(jié)構(gòu)：分離式/連接器連接
輸出數(shù)量：2
輸入數(shù)量：1
流體的種類：空氣/氮氣
耐壓：0.3MPa
流速的類型：低流速
工作溫度范圍：0~50°C
電源電壓的類型：直流
電源電壓：12~24V
連接管直徑：4
流向：雙向
配件類型：直徑?4/一鍵式
電纜：3m帶引線
引線輸出方向：L型
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