亚洲AV无码乱码在线观看,|免费大片av手机看片|欧美精品丝袜久久久中文字幕|亚洲Av无码乱码在线观看性色,久亚洲A 无码精品色午夜麻,一本道高清dvd一点都不卡,永久网站色视频在线观看免费,人人澡人人妻人人爽-精品乱码一区二区三四区视频黑人-极品少妇高潮在线观看-久久国产乱子伦免费精品,不卡AV在线中文_国内毛卡片免费AV_全部欧美A级在线播放

用液體質量流量計測量質量及流量，采用后置汽化器將對全部液體進行汽化的方式。

直接汽化法的基本原理

直接汽化法使用液體質量流量計進行質量測量，并通過汽化器內置的控制閥將流量控制后的液體連續引入汽化室。在汽化室中，液體被瞬間汽化。雖然所控制的是液體，但瞬間汽化后的氣體質量不會改變，因此，如果是可以瞬間連續汽化的汽化器，液體主要的質量流量=汽化器出口處的氣體質量流量。

由于汽化濃度的要素由MFC直接控制，因此穩定性，可進行高濃度汽化，這是鼓泡法難以實現的。

搭載壓電控制閥，對應微小流量汽化需求的小型液體汽化器。

汽化室附近搭載能夠進行高速、高精度微小流量控制的壓電致動器。該結構的死體積較小。

最大支持TEOS 7g/min，H2O g/min汽化量的緊湊型汽化器。通過將載氣（最大流量14SLM）和液體混合并引入汽化室，可以實現穩定的汽化供給。

該汽化器采用緊湊型設計，結構小巧，即使在連續的微小流量下也能實現精確的流量汽化供給，且不受輸出端的壓力影響。

除了半導體制造工藝中經常使用的TEOS外，還可以對TEB和TEPO等各種液體進行汽化供給。此外，還可以通過串聯汽化器同時汽化供應多種液體。

最高溫度	載氣流量	最大H2O汽化流量	最大TEOS汽化流量	密封材
160℃	0.1~14SLM	0.5g/min	7g/min	Au

※產品詳情請直接電話或郵件咨詢LINTEC。