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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：小型兩通道供氣系統(tǒng)CGM-2F是一種緊湊型雙通道微量氣體混合供氣系統(tǒng)，輸入的兩種不同氣體通過(guò)調(diào)節(jié)壓力和流量，即可輸出一種較準(zhǔn)確的混合性氣體，可用以小型管式爐、手套箱、等離子清洗機(jī)、小型PECVD系統(tǒng)
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： 小型兩通道供氣系統(tǒng) CGM-2F 是一種緊湊型雙通道微量氣體混合供氣系統(tǒng)，輸入的兩種不同氣 體通過(guò)調(diào)節(jié)壓力和流量， 即可輸出一種較準(zhǔn)確的混合性氣體， 可用以小型管式爐、手套箱、等離子清洗機(jī)、 小型 PECVD 系統(tǒng)。
產(chǎn)品型號(hào) | 小型兩通道供氣系統(tǒng) CGM-2F |
主要特點(diǎn) | 1 、采用 SS304 精密不銹鋼針閥。 |
2 、采用 1/4″管徑不銹鋼或聚四氟乙烯管。 | |
3、無(wú)需外接電源。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1、浮子流量計(jì)： 10-100ml/min，兩個(gè) 2、壓力表： -0.1-1.0MPa（0.01MPa/grid），三個(gè) |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 340mm×300mm×180mm；重量： 6.35kg |