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深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第2年

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當(dāng)前位置:深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司>>元素分析儀>>氮化鋁>> FAN-090/FAN-170/FAN-200日本furukawa氮化鋁陶瓷零件高導(dǎo)熱率耐腐蝕

日本furukawa氮化鋁陶瓷零件高導(dǎo)熱率耐腐蝕

參   考   價(jià): 2660

訂  貨  量: ≥100 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)FAN-090/FAN-170/FAN-200

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所  在  地深圳市

更新時(shí)間:2025-05-08 19:38:05瀏覽次數(shù):572次

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日本furukawa氮化鋁陶瓷零件高導(dǎo)熱率耐腐蝕 FAN-090/FAN-170/FAN-200

半導(dǎo)體制造設(shè)備(用于前端工藝)需要應(yīng)對(duì)更小的設(shè)計(jì)規(guī)則和更大的晶圓直徑(300mmφ或更大)。為此,構(gòu)成設(shè)備的部件材料的選擇極其重要。

日本furukawa氮化鋁陶瓷零件高導(dǎo)熱率耐腐蝕 FAN-090/FAN-170/FAN-200 特點(diǎn)介紹


半導(dǎo)體制造設(shè)備(用于前端工藝)需要應(yīng)對(duì)更小的設(shè)計(jì)規(guī)則和更大的晶圓直徑(300mmφ或更大)。為此,構(gòu)成設(shè)備的部件材料的選擇極其重要。

氮化鋁(AlN)是一種平衡良好的材料,具有優(yōu)異的導(dǎo)熱性、熱輻射(散熱)、抗熱震性和電絕緣性,并且具有與硅晶片相匹配的熱膨脹性。

利用古河電子的燒成技術(shù),我們還能夠制造550mmφ氮化鋁陶瓷部件。我們還將應(yīng)對(duì)更大直徑的晶圓。

具有高導(dǎo)熱率和熱發(fā)射率,受熱均勻性高。

它具有抗熱沖擊能力,可以承受快速加熱和冷卻。

與硅相匹配的低熱膨脹。

對(duì)氟氣具有優(yōu)異的耐腐蝕性。


日本furukawa氮化鋁陶瓷零件高導(dǎo)熱率耐腐蝕 FAN-090/FAN-170/FAN-200 規(guī)格參數(shù)


半導(dǎo)體制造裝置(CVD、蝕刻等)用各種基座、靜電吸盤(pán)、均熱板、真空吸盤(pán)、加熱器

虛擬晶圓

目標(biāo)

化合物半導(dǎo)體制造設(shè)備零部件

?熱伝導(dǎo)?熱放射率が大きく、均熱性が高い。?熱衝撃に強(qiáng)く、急熱?急冷に耐える。?Si にマッチした低熱膨張で、溫度変化によるウェーハの変形を防ぎ、また、デポ膜の剝離によるパーティクル発生を低減する。?フッ素系ガス耐食性に優(yōu)れる。


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