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產品介紹
HOBIBA堀場精選非接觸式化學品濃度監測儀
HOBIBA堀場精選非接觸式化學品濃度監測儀
非接觸式化學品濃度監測儀
CS-900 型
一種化學濃度監測器，旨在以非接觸方式測量半導體制造過程（如清潔和蝕刻）中使用的化學品。
通過測量管道內流動的化學品，無需直接接觸，即可實現安全穩定的濃度監測，而不會產生化學品泄漏或污染的風險。
| 型號名稱 | 非接觸式藥液濃度監測儀 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型 | CS-900 型 | ||||
| 測量方法 | 吸收光譜 | ||||
| 濃度計算 | 溫度補償多變量分析 | ||||
| 測量范圍/ 重復性 （mass%） | 型號名稱 | 元件 | 可測量范圍 | 重復性 | 模擬輸出范圍 |
| CS-900-1P-1P25P5 系列 | 0.00%-1.20% | ±0.05% | 0.00-10.00 | ||
| H2O2 | 0.00%-5.50% | ±0.10% | 0.00-10.00 | ||
| H2O | 93.3%-100.0% | ±1.0% | - | ||
CS-900-1P-P8P8 | 0.20%-0.80% | ±0.03% | 0.00-1.00 | ||
| H2O2 | 0.20%-0.80% | ±0.03% | 0.00-1.00 | ||
| H2O | 98.4%-99.6% | ±0.3% | - | ||
測量條件 | 1） 測量頻率：每 3 秒 2） 移動平均：16 次 | ||||
管 | PFA 管 1 英寸或 3/4 英寸（請勿使用防靜電型 PFA 管） | ||||
樣品條件*1 | 樣品溫度 ： 20 至 80°C 樣品溫度、大氣溫度波動 ： ±1 °C（時間：1 小時） 樣品壓力 ： 小于 0.2 MPa （G） 樣品壓力波動 ： 0.02 MPa 以內 | ||||
電源 | 直流 24V | ||||
功耗 | 阿波羅。30W（不包括啟動時的瞬態電流） | ||||
| 重量 | 顯示單位 ： Apporox.0.9kg 傳感器單元：Apporox。2.9 千克 | ||||
| 尺寸 （WxDxH） | 顯示單元 ： 96x135x96mm 傳感器單元： 238x135x190mm | ||||
| 傾斜角度 | 傳感器單元： 垂直方向 ±3 度 以內 橫向 0 至 90 度 | ||||
| 光源 | 5 年 | ||||
| 通信 | 并行 I/O、RS-232C、模擬輸出 | ||||
