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進口供應HORIBA堀場氣體濃度監測儀IR-300

2025-1-6  閱讀(145)

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# 2024年新品發布會#

日期:2024年1月6日

時間:8:30-18:30

近期我司新推出升級了進口供應HORIBA堀場氣體濃度監測儀IR-300

用于鼓泡供應管線的在線氣體濃度監測器。用于原料氣體的穩定供應。 MOCVD(金屬有機化學氣相沉積)廣泛應用于LED制造工藝和光學器件制造工藝中。該 MOCVD 設備采用液體/固體材料,通常使用鼓泡方法將其作為汽化氣體輸送到腔室。在該材料氣體供應線路中,實時氣體濃度監測對于實現穩定的薄膜沉積過程非常重要。氣體濃度監測儀IR-300系列已安裝在MOCVD設備的原料氣供應線上,可實現在線高速氣體濃度監測。支持原料氣體的穩定供應。 

實時監測響應 速度和重復性跟蹤氣體濃度變化 多種校準曲線功能(可選) 最多可安裝 3 種測量氣體/滿量程濃度(=校準曲線)。 多顯示器功能 配備多顯示器,將主機頂部的多顯示器與模式LED相結合,可現場檢查濃度監測和供應線路信息。 通訊功能 支持DeviceNet通訊及兼容數字/模擬信號的通訊方式 設計緊湊簡潔 ,尺寸124毫米,設計緊湊,安裝位置不受限制。


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