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Osaka Vacuum大阪真空渦輪分子泵TGkine3800M-B

2025-3-10  閱讀(35)

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# 2025年新品發布會#

日期:2025年3月10日

時間:8:30-18:30

近期我司新推出升級了Osaka Vacuum大阪真空渦輪分子泵TGkine3800M-B


集成控制器和電源 省電設計 節省空間 IP54 標準 多樣化的通信規格 國際標準 CE /NTL/SEMI-S2 用 半導體制造設備 FPD 制造設備 太陽能電池制造設備 玻璃和鏡頭等光學元件的加工 薄膜加工 加速器/空間環境試驗設備

渦輪分子泵由轉子葉片和靜態葉片的多級組合組成。 機翼的傾斜度與旋轉方向之間的關系如下圖所示。 從高真空側飛出的氣體分子在進入轉子葉片時試圖向各個方向移動并移開。 然而,由于葉片的傾斜和旋轉,它們被引導到后級的方向,同時被引導到容易穿過靜態葉片的方向。 此外,從后級側面穿過靜態葉片并逆行的氣體分子也通過接觸轉子葉片再次被引導至下游方向。 葉片的傾斜度具有氣體分子可以輕松通過前級的角度(排氣方向的流動和回流之間的較大差異),以及氣體分子在后級上不太可能反轉的角度(排氣方向的流動與回流的比率很大)。 在分子池中,這些轉子葉片和靜態葉片執行渦輪分子泵的基本功能。

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