系統概述
駭思HyperPureX ICM-E系列集成電路電子級超純水系統以嚴謹的合規性指導系統的設計、制造、安裝和驗證的全過程，以模塊化的設計集成了多介質過濾、活性炭吸附、軟化、二級RO2nd、脫氣、EDI、超濾、紫外殺菌和TOC降解、樹脂超純化、以及終端微濾各純化單元，廣泛應用于半導體晶圓及液晶屏清洗、芯片等各種精密電子元器件的加工和制造。
水質標準
GB/T 11446.1-2013、GB/T 33087-2016、ASTM D1193-06等規定的水質標準
工藝路徑
1. 預處理系統+二級反滲透RO2nd系統+脫氣系統+EDI系統+超純化系統+儲存分配系統
性能特點
10“彩色觸控屏及 PLC控制模塊且具有物聯網（IOT）和云平臺功能的全自動控制系統；
模塊化設計理念，結構緊湊，便于操作及后期維護；
整套設備可以排空設計；
可根據客戶原水水質優化調整工藝路線；
系統內部部分濃水可回收，可提高系統回收率至80%以上；
確保過程檢驗、質量監控、驗證文件符合用戶需求；
應用范圍
液晶面板制作、半導體晶圓、芯片等各種精密電子元器件行業的加工和制造
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