法國AS-master 真空快速退火爐

標(biāo)準(zhǔn)溫度范圍室溫 ~ 1450°C

室溫 ~ 1450°C

真空獲得系統(tǒng)

干泵(10-2Torr

分子泵(10-6Torr)

分子泵(10-6Torr)

load lock

尺寸/重量

510mm x 1425mm x 800mm / 240Kg

可配loadlock

參考客戶：

清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、華南理工大學(xué)、天津中電十八所、南京中電五十五所、GE上海研發(fā)中心、南方科大、深圳大學(xué)等。

大尺寸樣品快速退火爐

快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。

儀器特點(diǎn)：

  -  快速熱處理、快速熱退火  RTP / RTA；

  -  可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用；

  -  廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm X 156mm電池片，300mm X 300mm電池片等；